點(diǎn)擊圖片查看原圖
●簡(jiǎn)介：
曝光機(jī)光學(xué)玻璃對(duì)品質(zhì)的要求很高，在圖型轉(zhuǎn)移的制程中非常重要，它要求紫外線透光率、平行度、強(qiáng)化硬度、平面清潔純度等一系列光學(xué)參數(shù)。本公司引進(jìn)先進(jìn)的激光儀器、超聲波儀器、精雕機(jī)和研磨機(jī)器等先進(jìn)設(shè)備，同時(shí)擁有資深級(jí)的技術(shù)人員，能及時(shí)為客戶解決方案。
可根據(jù)客戶的要求或提供的圖紙，樣品定做特殊規(guī)格、不同槽位和不同孔位的曝光機(jī)配備的光學(xué)玻璃，同時(shí)可按需進(jìn)行特殊強(qiáng)化處理或鋼化處理使其達(dá)到耐高溫及耐壓強(qiáng)的要求。
●適用于：
ORC曝光機(jī)玻璃
HAKUTO曝光機(jī)玻璃
OLEC曝光機(jī)玻璃
BACHER曝光機(jī)玻璃
ONO SOKKI曝光機(jī)玻璃
AUTOMA-TECH曝光機(jī)玻璃
C-SUN曝光機(jī)玻璃
CBT曝光機(jī)玻璃等等......
●產(chǎn)品主要技術(shù)指標(biāo)：
a)規(guī)格：圓片外徑從15mm到300mm，內(nèi)徑從5mm到150mm；方片從20×20到300×300；拋b)光產(chǎn)品厚度從0.3到25mm。
c)長(zhǎng)、寬尺寸允差：≤ 0.1mm
d)內(nèi)外徑同軸度：φ30mm內(nèi) ≤0.01mm；φ150mm內(nèi)≤ 0.1mm
e)內(nèi)孔允差：φ30mm內(nèi) ≤ 0.03m；φ150mm內(nèi)≤ 0.2mm
f)外徑允差：± 0.02mm
g)厚度允差：± 0.01mm
h)面精度：客戶要求
i)雙面平行差： ≤ 3μm,表面光潔度：O級(jí)
j)表面粗糙度：0.4nm以下
k)產(chǎn)品測(cè)試儀器精度
干涉儀：≤1λ/20
表面粗糙度檢測(cè)儀：≤0.01nm
圓度儀：≤0.001mm