"掃描二維碼，關(guān)注協(xié)會動態(tài)"
委托人：北京凱德石英有限公司
評審鑒定時間：2012年9月13日
地點：北京市
評審鑒定結(jié)論：
一、項目結(jié)合大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)用立式石英籠舟結(jié)構(gòu)復(fù)雜、配件多、加工精度要求高、加工難度大等特點，成功開發(fā)了8英寸立式石英籠舟加工技術(shù)，其關(guān)鍵技術(shù)和主要創(chuàng)新點如下：
1、采用自行設(shè)計的模具、調(diào)直處理的開槽棒，有效控制了開槽精度，全長1034mm累計槽間距誤差小于0.1mm；
2、集成采用自主開發(fā)的全熔焊接工藝、冷熱加工技術(shù)、分步焊接技術(shù)、退火技術(shù)，消除了應(yīng)力，減少了變形，提高了焊接精度和產(chǎn)品質(zhì)量；
3、研制了專用卡具、模具和焊接平臺，開發(fā)了石英環(huán)片加工技術(shù)，有效地解決了石英環(huán)片支架焊接的準(zhǔn)確定位問題，實現(xiàn)復(fù)雜結(jié)構(gòu)8英寸立式石英籠舟的精準(zhǔn)焊接加工。
二、該成果產(chǎn)品于2011年2月以來，已有數(shù)批成功應(yīng)用在有研半導(dǎo)體材料股份有限公司的集成電路芯片生產(chǎn)線上，并出口國外，用戶反映產(chǎn)品性能穩(wěn)定，外觀和尺寸精度均達到國外同類產(chǎn)品水平。該產(chǎn)品加工技術(shù)綜合水平達國內(nèi)領(lǐng)先。
三、該成果突破了國外的技術(shù)壁壘，實現(xiàn)了8英寸立式石英籠舟加工技術(shù)的國產(chǎn)化，對推動國內(nèi)石英玻璃工業(yè)、微電子工業(yè)和相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)進步與發(fā)展具有重要意義。
建議：進一步優(yōu)化生產(chǎn)工藝，促進成果的量產(chǎn)化進程，以滿足市場需求。
對該項目的鑒定如有異議，請于公示之日起20日內(nèi)向中國建筑材料聯(lián)合會科技部反映（電話：010-57811105，聯(lián)系人：潘東暉）。
中國建筑材料聯(lián)合會科技部
二〇一二年九月十四日
鑒 定 委 員 會 名 單
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序號
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姓名
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工作單位
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從事專業(yè)
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職稱/職務(wù)
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1
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王玉芬
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中國建筑材料科學(xué)研究總院
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玻璃
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2
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田民波
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清華大學(xué)
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材料科學(xué)與工程
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3
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張佰恒
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中國建筑玻璃與工業(yè)玻璃協(xié)會
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玻璃
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4
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楊家茂
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中國建筑玻璃與工業(yè)玻璃協(xié)會石英玻璃專業(yè)委員會
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石英玻璃
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5
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王友軍
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北京金格蘭石英玻璃有限公司
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石英玻璃
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6
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魯 瑾
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中國電子材料協(xié)會
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電子材料
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7
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楊學(xué)東
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國家安全玻璃及石英玻璃質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心
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石英玻璃檢測
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8
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張 錦
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久智光電子材料科技有限公司
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石英玻璃
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